特許
J-GLOBAL ID：200903023210846773
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-238659
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068602
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 高精度かつ短時間で形状測定を可能とすることを目的とする。【解決手段】 本発明の形状測定装置は,光束を被検面に照射し,その反射光束に基づいてフォーカスエラー信号を出力する光学式変位センサ101と,光学式変位センサ101を移動させ,光学式変位センサ101と被検面との相対位置を変化させるx-yテーブル104と,x-yテーブル104の変位を測定するレーザ測長器102,103及び参照ミラー105,106と,被検面の傾斜角に対するフォーカスエラー信号の0位の誤差の関係と被検面の傾斜角に対するフォーカスエラー信号の感度の関係とを予め求めかつ校正値として記憶し,x-yテーブル104の変位から被検面の傾斜角を求め,この傾斜角と校正値とに基づいてx-yテーブル104の誤差変位を求め,レーザ測長器102,103で測定した変位と前記誤差変位とを足し合わせる制御部108とを備える。
請求項（抜粋）：
対物レンズで集光させた光束を被検面に照射し,その反射光束に基づいてフォーカスエラー信号を出力する光学式変位センサと,少なくとも2自由度で前記光学式変位センサを移動させ,前記光学式変位センサと前記被検面との相対位置を変化させる移動手段と,前記移動手段の変位を測定する変位測定手段と,前記変位測定手段で測定した前記移動手段の変位から前記被検面の傾斜角を求める傾斜角演算手段と,被検面の傾斜角に対する前記フォーカスエラー信号の0位の誤差の関係と被検面の傾斜角に対する前記フォーカスエラー信号の感度の関係とを十分な精度を有する校正球を用いて予め求めかつ校正値として記憶し,前記傾斜角演算手段で求めた傾斜角と前記校正値とに基づいて前記移動手段の誤差変位を求める誤差演算手段と,前記変位測定手段で測定した変位と前記誤差演算手段で求めた誤差変位とを足し合わせる合算手段と,を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/24 M
