堆積膜形成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-281870
公開番号（公開出願番号）：特開2009-108370
出願日： 2007年10月30日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】膜厚や膜特性の均一性に優れ、画像欠陥の少ない堆積膜を生産性良く形成することができる堆積膜形成装置を提供する。【解決手段】堆積膜形成装置は、円筒状基板(不図示)の両端部がそれぞれ堆積膜形成装置の規準接地部である回転台(不図示)に電気的に接続されて接地されるように構成されている。円筒状基板の両端部のうちの少なくとも1つの端部と回転台との間にはインピーダンス調整部140が備えられている。インピーダンス調整部140は、絶縁性材料で構成された母材141と、円筒状基板の端部に導通させられる第1の導通部143と、回転台に導通させられる第2の導通部144と、両導通部143,144を電気的に接続する接続部142とを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

内部を減圧可能な反応容器と、該反応容器の内部を排気する排気手段と、円筒状基板を保持し、前記反応容器の内部に設置される基板ホルダと、該基板ホルダを回転可能に保持する保持手段と、前記反応容器の内部に原料ガスを導入する原料ガス導入手段と、前記原料ガスを励起させる放電エネルギーを印加する印加手段と、を有する堆積膜形成装置において、前記円筒状基板の両端部が前記堆積膜形成装置の規準接地部にそれぞれ電気的に接続されて接地されるように構成され、前記両端部のうちの少なくとも1つの端部と前記規準接地部との間に介在するインピーダンス調整手段が備えられており、前記インピーダンス調整手段は、絶縁性材料で構成された母材と、該母材に設けられ前記円筒状基板の端部に導通させられる第1の導通部と、前記母材に設けられ前記規準接地部に導通させられる第2の導通部と、前記第1の導通部と前記第2の導通部とを電気的に接続する接続部と、を有することを特徴とする堆積膜形成装置。

IPC (2件)：

C23C 16/505 , H01L 21/205

FI (2件)：

C23C16/505 , H01L21/205

Fターム (35件)：

4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA13 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030BA29 , 4K030BA30 , 4K030BB03 , 4K030BB04 , 4K030CA02 , 4K030CA16 , 4K030FA03 , 4K030GA06 , 4K030GA12 , 4K030KA05 , 4K030KA14 , 4K030KA45 , 4K030LA15 , 4K030LA16 , 4K030LA17 , 5F045AA08 , 5F045AB04 , 5F045AC01 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AD06 , 5F045AD07 , 5F045AE19 , 5F045BB01 , 5F045CA16 , 5F045DA67 , 5F045DP25 , 5F045EB06 , 5F045EH15 , 5F045EH19

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第3135031号公報
実開平7-010934号公報
特許第2907404号公報

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