光学的電気的特性を有する機能性薄膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-027532
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323605
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】光学的電気的特性を有する機能性薄膜を提供する。【解決手段】アルミニウム(Al)及びケイ素(Si)より選択される第1成分ならびに酸素原子(O)及び窒素原子(N)より選択される少なくとも一の第2成分を含む転移層を有し、該第1成分及び第2成分は薄膜の厚みに沿って漸進的な濃度勾配を有することを特徴とする機能性薄膜。

請求項（抜粋）：

アルミニウム(Al)及びケイ素(Si)より選択される第1成分ならびに酸素原子(O)及び窒素原子(N)より選択される少なくとも一の第2成分を含む転移層を有し、該第1成分及び第2成分は薄膜の厚みに沿って漸進的な濃度勾配を有することを特徴とする機能性薄膜。

IPC (10件)：

G02B 5/00 , C03C 17/09 , C03C 17/22 , C03C 17/245 , C03C 17/34 , C03C 17/36 , G02B 1/10 , G02B 1/11 , G02B 5/22 , G02C 7/10

FI (11件)：

G02B 5/00 B , G02B 5/00 A , C03C 17/09 , C03C 17/22 Z , C03C 17/245 A , C03C 17/34 Z , C03C 17/36 , G02B 5/22 , G02C 7/10 , G02B 1/10 A , G02B 1/10 Z

Fターム (43件)：

2H006BE01 , 2H042AA03 , 2H042AA06 , 2H042AA09 , 2H042AA11 , 2H042AA15 , 2H042AA26 , 2H042AA27 , 2H042AA33 , 2H048CA05 , 2H048CA09 , 2H048CA14 , 2H048CA17 , 2H048CA19 , 2H048CA20 , 2H048CA29 , 2K009AA02 , 2K009AA10 , 2K009AA12 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009CC14 , 2K009DD03 , 2K009EE03 , 4G059AA08 , 4G059AA11 , 4G059AA18 , 4G059AC04 , 4G059DA01 , 4G059DA02 , 4G059DA03 , 4G059DA04 , 4G059DA05 , 4G059DA08 , 4G059DB02 , 4G059EA01 , 4G059EA05 , 4G059EA07 , 4G059EA12 , 4G059GA01 , 4G059GA04 , 4G059GA12 , 4G059GA14

前のページに戻る