特許
J-GLOBAL ID：200903023221691933
スジ検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043413
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258249
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 人間が評価することに起因する不安定さを排除し、高いS/Nでの安定した試料のスジ検査、品質の管理を行えるようにする。【構成】 被検査試料の光学的性質の均一性の乱れ(スジ)を検査する方法であって、撮像装置を用いて撮像した被検査試料の画像データをスジ発生方向に応じてフィルタ処理し、フィルタ処理して得た画像データに基づいてスジを検査することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検査試料の光学的性質の均一性の乱れ(スジ)を検査する方法であって、撮像装置を用いて撮像した被検査試料の画像データをスジ発生方向に応じた方向性をもつ空間フィルタでフィルタ処理して得た画像データに基づいてスジを検査することを特徴とするスジ検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06F 15/62 400
