微粒子の除去方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304616
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138113
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】半導体や液晶などの電子材料を扱う産業などにおいて、被洗浄物の表面に付着した汚染微粒子を効果的に除去することができる微粒子の除去方法を提供する。【解決手段】水に還元性薬剤を添加してなる還元性水を、被洗浄物と接触させて、被洗浄物表面から微粒子を除去することを特徴とする微粒子の除去方法。

請求項（抜粋）：

水に還元性薬剤を添加してなる還元性水を、被洗浄物と接触させて、被洗浄物表面から微粒子を除去することを特徴とする微粒子の除去方法。

IPC (5件)：

B08B 3/08 , C11D 3/04 , C11D 7/10 , C02F 1/70 , H01L 21/304 341

FI (5件)：

B08B 3/08 Z , C11D 3/04 , C11D 7/10 , C02F 1/70 Z , H01L 21/304 341 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

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