特許
J-GLOBAL ID：200903023230956540

砥石

発明者：
高田 篤

高田 篤 について

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金子 良衛

金子 良衛 について

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高津 雅一

高津 雅一 について

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池田 奈津子

池田 奈津子 について


出願人/特許権者：
株式会社ナノテム

株式会社ナノテム について


代理人 (3件)： 筒井 大和 ,  小塚 善高 ,  筒井 章子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-312334
公開番号（公開出願番号）：特開2007-118119
出願日： 2005年10月27日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】高精度の研磨加工を行うことができる砥石を提供する。【解決手段】この砥石10は砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により形成されており、内部には流体流路17,18が形成されている。砥石10は加工面11から所定の厚みの部分は研磨層15となっており、それよりも基端面12側の部分は砥石基部16となっており、砥石基部16には流体流路17,18が形成されている。砥石基部16に形成された給排口19を介して流体流路17,18内に加圧ポンプ29からの研磨液等の流体を供給したり、真空ポンプ25を作動させて流体流路17,18内を負圧状態とすると、加工面11と被加工物Wの被加工面との間には、流体の流れが生成される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物の被加工面を研磨加工する砥石であって、 砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により形成され前記被加工面を研磨加工する加工面が設けられた研磨層と、 前記研磨層の気孔を介して前記加工面に連通する流体通路が形成され、砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により前記研磨層と一体に形成される砥石基部とを有し、 前記砥石基部に形成され前記流体通路に連通する給排口からの加圧流体の供給ないし負圧流体の排出により前記被加工面と前記加工面との間に流体の流れを生成するようにしたことを特徴とする砥石。
IPC (5件)：
B24D 7/00 ,  H01L 21/304 ,  B24B 55/02 ,  B24D 3/00 ,  B24D 7/02
FI (7件)：
B24D7/00 P ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 622E ,  H01L21/304 621C ,  B24B55/02 B ,  B24D3/00 320B ,  B24D7/02 B
Fターム (15件)：
3C047GG08 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA02 ,  3C063BA22 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063BC03 ,  3C063BC05 ,  3C063BC09 ,  3C063BD01 ,  3C063BG07 ,  3C063CC02 ,  3C063EE10 ,  3C063FF18
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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