三軸薄膜加速度計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-063974
公開番号（公開出願番号）：特開2007-248466
出願日： 2007年03月13日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】三軸薄膜加速度計を提供する。【解決手段】本発明はマイクロエレクトロニクス技術によって微小加工された加速度計の構造に関する。本発明による加速度計は、基板(10)、該基板の上方に懸架されその周囲で該基板に結合された弾性変形可能な薄層の膜(12)、該膜の上方に懸架され該膜に中央のスタッド(14)で接続された振動質量体(M)、及び該質量体の周りに分配され、該質量体に結合された可動板及び該基板に結合された固定板を有する、容量性の相互に嵌合した櫛形(P1〜P8)を備える。様々な櫛形の固定板(AF1,AF3)及び可動板(AM1,AM3)は上向きと下向きの垂直加速度の区別を助けるために差別化された高さを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

微小加工された加速度計の構造であって、基板(10)、該基板の上方に懸架されその周囲で該基板に結合された弾性変形可能な薄層の膜(12)、該膜の上方に懸架され該膜に中央のスタッド(14)で接続された振動質量体(M)、及び該質量体の周りに分配され、該質量体に結合された可動板及び該基板に結合された固定板を有する、容量性の相互に嵌合した櫛形(P1〜P8)を備える加速度計の構造。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , H01L 29/84 , G01P 15/18

FI (3件)：

G01P15/125 Z , H01L29/84 Z , G01P15/00 K

Fターム (13件)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA11 , 4M112DA02 , 4M112DA04 , 4M112DA07 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA18 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (8件)

半導体力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-369030 出願人：株式会社デンソー
垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-119865 出願人：三星電子株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-333445 出願人：株式会社村田製作所

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