特許
J-GLOBAL ID：200903023232081436
集光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204022
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196896
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】この発明の目的は、中心ビ-ムスポット及びサイドローブ強度を低減できる集光光学系を提供することにある。【構成】この発明の集光素子10は、表面10f (または裏面10r) の一部に、自身に入射される光が通過する光路長を変化させることで、少なくとも3領域に波面分割できる突出部10bを有している。即ち、上記集光素子10は、上記突出部10bに対して相対的に凹部となる領域10a,10c及び上記突出部10bによって、3領域構造アポダイザを形成する。この集光素子10を通過された光は、それぞれの領域に応じて集束され、或いは、位相が反転されて、所望の位置に配置される結像面上に結像される。この場合、結像された光のビ-ムスポットは、十分に集束される。また、上記ビ-ムスポットの周辺に生じるサイドロ-ブは、十分に低減される。
請求項（抜粋）：
入射された光を波面分割するための少なくとも3つの光分割領域を有し、それぞれの領域に入射される光に対し、互いに隣接する領域毎に異なる光学特性を与える集光装置。
IPC (3件)：
G02B 27/58
, G02B 27/00
, G11B 7/135
