特許

J-GLOBAL ID：200903023233610629

静電チャック

発明者： 辰己 良昭 ,  宮下 欣也 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社ミヤタアールアンディ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042014
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205134
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 静電吸着機構部にヒーター機構部が接合一体化された構造の静電チャックの電熱ヒーターの構造に係わる。【解決方法】 ヒーターが接合一体化された構造の静電チャックで、該ヒーターは熱拡散基板の片面に電熱回路が一体的に接合された構造からなり、該電熱回路は、電熱ヒーター素線の回りをセラミック絶縁層が取り囲む構造にされてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

静電吸着機構部にヒーター機構部が接合一体化された構造の静電チャックであって、該ヒーター機構部は熱拡散基板の片面に電熱回路が一体的に接合された構造からなり、該電熱回路の構造は、電熱ヒーター素線の回りをセラミック絶縁層が取り囲む構造にされてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B