特許

J-GLOBAL ID：200903023236832118

表示装置用遮光膜

発明者： 赤尾 安彦 ,  原納 猛
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059650
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250163
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】遮光膜のエッチング断面形状がテーパ状にできるので、この部分の電極被覆膜厚を厚くでき、LCDの共通電極成膜時の歩留りを上げる。【構成】可視光領域で実質的に透明な表示装置用の基板1上に設けられた遮光膜が、基板側からクロム膜2および窒化クロム膜3の2層構造を有する。遮光膜は、窒化クロム膜を含むものであり、窒化クロム膜の窒化度が連続的に変化しているものでもよい。

請求項（抜粋）：

可視光領域で実質的に透明な表示装置用の基板上に設けられた遮光膜が、該基板側からクロム膜および窒化クロム膜の2層構造を有することを特徴とする表示装置用遮光膜。