特許

J-GLOBAL ID：200903023244084970

水溶性感光性樹脂組成物

発明者： 宮澤 祥三 ,  戸田 昭三
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 洋子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-191965
公開番号（公開出願番号）：特開平8-034898
出願日： 1994年07月22日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】 特にエッチングマスクパターンとしてのレジストとして、酸性エッチング液に対する耐性に優れ、高感度、高解像性で保存安定性も良好で、かつ基板との密着性に優れ、濃アルカリ水溶液にて容易に剥離可能であるとともに、エッチング前の硬膜処理工程が不要な、非クロム系の水溶性感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 カゼインと、下記の一般式(I)【化1】(式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される構成単位を有する高分子化合物と、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸塩および1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸塩(Na、KまたはNH4 塩)の中から選ばれる少なくとも1種とを含有してなる水溶性感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(イ)カゼインと、(ロ)下記の一般式(I)【化1】(式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される構成単位を有する高分子化合物と、(ハ)下記の一般式(II)および一般式(III)【化2】【化3】(式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される化合物の中から選ばれる少なくとも1種とを含有してなる水溶性感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

C08L 33/26 LJV ,  C08L 89/00 LSF ,  C23F 1/00 ,  G03F 1/00 ,  G03F 7/022 501 ,  G03F 7/027 504 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/085 ,  H01J 9/14