特許

J-GLOBAL ID：200903023265931478

ドーナツ形板状材の内外周加工方法及び装置

発明者： 長沢 郁夫 ,  石村 和彦
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152099
公開番号（公開出願番号）：特開平5-337798
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【構成】 冷却手段32をテーブル34に埋設して、この冷却手段32でドーナツ状に形成されたガラス円板38とテーブル34間に供給された水40を凝固させてガラス円板38をテーブル34に冷凍チャック状態に維持する。冷凍チャックの固着力は、ガラス円板38の加工時にガラス円板38をテーブル34に固定することができる値に設定されている。すなわち、小径のドーナツ状のガラス円板38の保持力を高めることができる。【効果】 冷凍チャックの固着力が、板状材の加工時にガラス円板をテーブルに固定できる値に小径のドーナツ状のガラス円板の保持力を高めることができる。従って、テーブルに保持されたガラス円板の内外周に加工砥石を押圧して、ガラス円板の内外周の面取り加工、端面加工を行うことができる。

請求項（抜粋）：

ドーナツ状に形成された板状材と加工テーブル間に供給された液状媒体を凝固させて、前記板状材を加工テーブルに冷凍チャック状態に維持する工程と、前記加工テーブルに冷凍チャック状態に維持された板状材の内外周に加工ツールを押圧して前記板状材の内外周の面取り加工、端面加工を行う工程と、を備え、前記冷凍チャックの固着力が、前記板状材の加工時に前記板状材を加工テーブルに固定できる値に設定されたことを特徴とするドーナツ形板状材の内外周加工方法。