特許
J-GLOBAL ID：200903023267149416
LSIテスタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014711
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211791
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 測定回路の電源系におけるインピーダンス整合を正確として、正確な測定を行うことが可能なLSIテスタを提供する。【解決手段】 LSIテスタの直流電源2とDUT1の電源端子11との間をコイル3を介して接続し、電源端子11と接地端子12との間を抵抗4を介して接続する。抵抗4はコイル3のインピーダンスよりも十分小に設定する。すなわち、抵抗4とコイル3とによりインピーダンス整合を行い、回路中にインピーダンスが周波数依存性のあるコンデンサを使用しない。よって、特性インピーダンスの周波数依存性がなくなり反射が防止されて正確な高周波電流の測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
被測定対象であるLSIの電源端子に直流電源からの直流電力を供給しつつ信号入力端子に所定の信号を与えて信号出力端子に現れる信号により当該LSIの試験を行うLSIテスタであって、前記LSIの電源端子と前記直流電源の供給端子との間に設けられたインピーダンス素子と、前記LSIの電源端子と接地端子との間に設けられ前記インピーダンス素子のインピーダンスに比較して十分小なる値の抵抗素子とを有することを特徴とするLSIテスタ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/26 J
, G01R 31/26 G
, G01R 31/28 M
