インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088875
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297720
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【構成】振動板上に形成される圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、振動板表面に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、焼成してジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることにより高特性とする。【効果】 700°C以上の高温でアニールを行なっても、鉛の拡散が防止でき、高い圧電ひずみ定数と高いヤング率を持つ圧電体薄膜素子を備えたインクジェット記録ヘッドを提供できた。

請求項（抜粋）：

振動板上に形成される圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造方法において、振動板表面に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、焼成してジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , C04B 41/87

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-024275
圧電/電歪膜型素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203831 出願人：日本碍子株式会社

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