特許

J-GLOBAL ID：200903023280007850

ブレードのセットアップ装置

発明者： 脇田 信彦
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016742
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214334
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 精密切削装置におけるブレードのセットアップ装置において、発光素子と受光素子とで形成されているブレードの基準位置検出センサーが閾値によって行うことの検出誤差を回避すること。【解決手段】 本発明に係るブレードのセットアップ装置は、ダイシング装置等の精密切削装置におけるブレードのセットアップ装置であって、該セットアップ装置は、発光部と受光部とを含み、該発光部は直径が0.01mm以下のレーザー光線を発する構成にしたことにより、ブレードによる完全遮光の瞬間を捕らえてブレードの基準位置が検出できるので、コンタミや水滴が付着していても閾値の検出のような誤った検出が解消され、高精度に基準位置が検出できる。

請求項（抜粋）：

ダイシング装置等の精密切削装置におけるブレードのセットアップ装置であって、該セットアップ装置は、発光部と受光部とを含み、該発光部は直径が0.01mm以下のレーザー光線を発する構成にしたことを特徴とするブレードのセットアップ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B28D 5/02

FI (2件)：

H01L 21/78 F ,  B28D 5/02 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学検出手段
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-109143   出願人：株式会社ディスコ
• 特開平2-171606
  
• 特開平2-171606