特許

J-GLOBAL ID：200903023288212118

レーザーダイオードチップ検査装置

発明者： 橋本 清
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049417
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249709
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 LDチップのハンドリング時間を短縮するとともに、検査項目の増減に容易に対応できるLDチップ検査装置を提供する。【解決手段】 溝部41がアレイ状に形成されたパレット2の表面載置部に複数のLDチップ1をアレイ状の溝部41に沿って配列して、複数のLDチップ1に通電して発光させたレーザー光9を検出部7で検出し、複数のLDチップ特性を検査するLDチップ検査装置であって、2次元平面内で移動可能でありパレット2を載置するXYステージ3と、上下動可能でありレーザー光9を反射して検出部7に到達させるためのミラー8をXYステージ3の上方に保持する保持部6とを有し、保持部6を降下させて複数のLDチップ1のレーザー光9の出射位置までミラー8を移動し、複数のLDチップ1を発光させて複数のLDチップ特性を検査する際に、ミラー8が溝部41の底部に接触しないように溝部41の深さを設けた。

請求項（抜粋）：

溝部がアレイ状に形成されたパレットの表面載置部に複数のレーザーダイオードチップを前記アレイ状の前記溝部に沿って配列して、前記複数のレーザーダイオードチップに通電して発光させたレーザー光を検出部で検出し、前記複数のレーザーダイオードチップ特性を検査するレーザーダイオードチップ検査装置であって、2次元平面内で移動可能であり前記パレットを載置するXYステージと、上下動可能であり前記レーザー光を反射して前記検出部に到達させるためのミラーを前記XYステージの上方に保持する保持部とを有し、前記保持部を降下させて前記複数のレーザーダイオードチップのレーザー光の出射位置まで前記ミラーを移動し、前記複数のレーザーダイオードチップを発光させて前記複数のレーザーダイオードチップ特性を検査する際に、前記ミラーが前記溝部の底部に接触しないように前記溝部の深さを設けたことを特徴とするレーザーダイオードチップ検査装置。

IPC (3件)：

H01S 5/02 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/26

FI (3件)：

H01S 5/02 ,  G01M 11/00 T ,  G01R 31/26 F

Fターム (11件)：

2G003AA06 ,  2G003AB01 ,  2G003AG10 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AH04 ,  2G086EE03 ,  5F073HA04 ,  5F073HA07 ,  5F073HA08 ,  5F073HA11