特許
J-GLOBAL ID:200903023288534026

透明板状体の欠陥検出方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-068739
公開番号(公開出願番号):特開平11-264803
出願日: 1998年03月18日
公開日(公表日): 1999年09月28日
要約:
【要約】【課題】ガラス板等の透明板状体中の微細な泡、異物等の内部欠陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する。【解決手段】エアテーブル上に搬入し位置決めした透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法において、透明板状体の端面のみから線状光源を照射して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板状体全面を撮像走査し、さらに透明板状体の端面より照射する前記線状光源と走行移動するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行い、光源からの距離の遠近による差を無くすようにし、得られた輝度信号の所定レベルを境界として良否を判定した。
請求項(抜粋):
エアテーブル上に搬入し位置決めした透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法において、透明板状体の端面のみから線状光源を照射して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レベルを境界として良否を判定することを特徴とする透明板状体の欠陥検出方法。
IPC (3件):
G01N 21/89 ,  C03B 35/00 ,  G01B 11/30
FI (4件):
G01N 21/89 D ,  C03B 35/00 ,  G01B 11/30 H ,  G01B 11/30 C
引用特許:
審査官引用 (3件)

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