特許
J-GLOBAL ID：200903023293670493
位置決め装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115890
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243132
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成でステージ加振力増大に伴う振動の伝達を防止し、高速かつ高精度な位置決めを可能にする。【解決手段】 移動可能なステージと、該ステージを所定方向へ移動させる第1リニアモータと、該移動手段を支持する定盤とを備えた位置決め装置において、質量体と、該質量体を支持案内するガイドと、該質量体を移動させる第2リニアモータと、該第2リニアモータを制御する制御手段とを有し、該第1リニアモータによって該ステージを移動した際に生じる該定盤に働く力を打消す力を付与する慣性力付与手段を設ける。
請求項（抜粋）：
基準面を有する定盤と、移動可能なステージと、該ステージを所定方向へ移動させる第1リニアモータと、慣性力を発生させる慣性力付与手段とを備え、該慣性力付与手段は、質量体と、該質量体を支持するガイドと、該質量体を移動させる第2リニアモータと、該第2リニアモータを制御する制御手段とを含むことを特徴とする位置決め装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B23Q 1/30
, B23Q 11/00
, G01B 21/00
, H01L 21/027
H01L 21/68 K
, B23Q 1/30
, B23Q 11/00 A
, G01B 21/00 L
, H01L 21/30 520 A
, B23Q 1/14 B
