特許
J-GLOBAL ID：200903023300058111
マイクロマシンスイッチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-313017
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149750
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 マイクロマシンスイッチのオフ時のアイソレーション特性を向上させる。【解決手段】 可動子11の先端部11a′,11b′の面積が、各分布定数線路2a,2bの先端部2a′,2b′の面積よりも小さい。
請求項（抜粋）：
互いに近接配置された少なくとも2本の分布定数線路のそれぞれと先端部が対向するように前記各分布定数線路の上方に配置されかつ導電体を含む可動子と、静電力により前記可動子を変位させて前記各分布定数線路に接触させる駆動手段とを備え、前記可動子の少なくとも1つの先端部の面積は、この先端部と対向する前記分布定数線路の先端部の面積よりも小さいことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5G051AA01
, 5G051AC40
, 5G051CA09
審査官引用 (3件)
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特開平4-133226
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特開平4-133226
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高周波信号用スイッチを含む移相器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-284005
出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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