特許
J-GLOBAL ID：200903023302034899
プラズマ生成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-500213
公開番号（公開出願番号）：特表2000-515678
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】交番電磁界を用いて真空室(3)にプラズマを生成するための装置であって、絶縁材料から成る管(5)内にロッド形状の導体(4)が真空室(3)を通ってガイドされておりかつ該絶縁管(5)の内径は前記導体(4)の直径より大きく、かつ前記絶縁管(5)は両端部が真空室(3)の壁(6,7)に保持されかつ該壁(6,7)に対してその外周面がシールされておりかつ前記導体(4)は両端部でそれぞれ、交番電磁界を発生するための第1の源(8ないし9)に接続されている形式のものにおいて、前記ロッド形状の導体(4)は両方の壁貫通案内部の領域(10,11)においてそれぞれ、その真ん中の部分(K)の方向において少なくともちよっとだけ離されて、導電材料から成る管部材(12,13)によって間隔を以て取り囲まれており、この場合1つまたは2つの管部材(12,13)は前記絶縁管(5)に対して同心的に配置されておりかつそれぞれ、交番電磁界を発生するための第2の源(14ないし15)に接続されている。
請求項（抜粋）：
交番電磁界を用いて真空室(3)にプラズマを生成するための装置であって、絶縁材料から成る管(5)内にロッド形状の導体(4)が真空室(3)を通ってガイドされておりかつ該絶縁管(5)の内径は前記導体(4)の直径より大きく、かつ前記絶縁管(5)は両端部が真空室(3)の壁(6,7)に保持されかつ該壁(6,7)に対してその外周面がシールされておりかつ前記導体(4)は両端部でそれぞれ、交番電磁界を発生するための第1の源(8ないし9)に接続されている形式のものにおいて、前記ロッド形状の導体(4)は両方の壁貫通案内部の領域(10,11)においてそれぞれ、その真ん中の部分(K)の方向においてちょっとだけ離されて、導電材料から成る管部材(12,13)によって間隔を以て取り囲まれており、この場合該2つの管部材(12,13)は前記絶縁管(5)に対して同心的に配置されておりかつ前記絶縁管(5)およびそれぞれの管部材(12,13)によって形成される円筒形状の中間空間がそれぞれ、交番電磁界を発生するための第2の源(14ないし15)に接続されていることを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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