特許
J-GLOBAL ID：200903023302794486
走査トンネル顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305134
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160501
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 試料の磁化の試料面法線方向成分の分布を、原子オ-ダ-の分解能で観察できる装置を提供すること。【構成】 チップ3、励起光源1、試料4、試料の位置を3次元的に制御するピエゾ素子5からなり、励起光源1からの円偏光2を上方からチップ3に照射し、チップ先端のGaAs内部に、スピンが上下方向に揃った偏極電子を生成する。この電子を強磁性体試料4に注入すると、磁化の試料面法線方向成分に応じてトンネル電流が変化する。この変化分を画像信号として磁区像を得る。
請求項（抜粋）：
円偏光励起によってチップ内に生成された偏極電子を試料に注入する走査トンネル顕微鏡において、チップの先端とは逆側から該チップに円偏光を照射することを特徴とする走査トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01R 33/10
, G01R 33/12
, H01J 37/28
