特許

J-GLOBAL ID：200903023306824401

照明光学装置

発明者： 森 孝司 ,  山田 仁 ,  長塚 淳 ,  長谷川 真一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-202243
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 放電ランプからの光を集光鏡で集光した後、更に光学部材を介して被照明物体を照明する照明光学装置において、新たに大きな熱源を設けることなく光学部材に付着する硫酸アンモニウムの白色の粉末の量を減少する。【構成】 水銀ランプ1からの光を楕円鏡2Aで反射させて光路折り曲げ用のミラー3Aに導き、ミラー3Aで反射された光をコリメータレンズ4、バンドパスフィルタ板5、フライアイレンズ6及びコンデンサーレンズ8を介してレチクル9に導く。二酸化硫黄の吸収帯の光に対する楕円鏡2A及びミラー3Aの反射率を小さくして、二酸化硫黄から硫酸アンモニウムが生成されるのを阻止する。

請求項（抜粋）：

放電ランプと、該放電ランプからの光を反射する反射集光部材とを有し、該反射集光部材を介した光を被照明物体へ照明する装置において、二酸化硫黄の吸収帯の光に対する前記反射集光部材の反射率を小さくした事を特徴とする照明光学装置。

IPC (9件)：

G03B 27/54 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/28 ,  G03B 27/16 ,  G03B 27/72 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  G02B 5/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-027501
  
• 特開昭59-044039
  
• 特開平2-090404
  
• 特開平3-059902