特許
J-GLOBAL ID:200903023307070788
顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
薄田 利幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-337407
公開番号(公開出願番号):特開平6-003203
出願日: 1992年12月17日
公開日(公表日): 1994年01月11日
要約:
【要約】【目的】ストークスラマン光とアンチストークスラマン光の強度を同時に測定して、試料の温度を正確に求めることができ、その測定結果を2次元表示可能な顕微ラマン分光光度計を備えた温度測定装置を得ることにある。【構成】ラマン分光光度計の光学系を、レーザ光源1からのレーザ光2を試料6に照射するレンズ系3、ハーフミラー4及び対物レンズ5を有する光学手段と、ノッチフィルタ41を透過してレーリ光を除去したラマン光のうちストークス光とアンチストークス光との何れか一方のラマン光を反射させ、他方を透過する光学特性を有するダイクロイックミラー40と、前記透過光、反射光それぞれの光路上に配設さした1次元もしくは2次元型の検出器24とで構成する。さらには前記光路上にそれぞれのラマン光ピークを選択的に透過するバンドパスフィルタ42を配設して分光性能をより向上させる。
請求項(抜粋):
レーザ光源と、試料にレーザを照射し、前記試料からの散乱光を導出する顕微鏡的光学手段と、散乱光をストークスラマン光とアンチストークスラマン光とに分光する分光器と、前記分光されたそれぞれのラマン光の強度を検出する光検出器と、前記光強度の検出出力比を求める演算手段とを有し、前記試料のレーザ照射領域の温度を計測するラマン分光光度計を用いた温度測定装置において、前記光学手段と前記分光器との間の光路上にレーリ光を遮断するノッチフィルタを配設して、ラマン光を分光する前に予め光路からレーリ光を除去するようにして成る顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定装置。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭62-112322
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特開昭56-055822
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