特許

J-GLOBAL ID：200903023307320008

光学顕微鏡付属型原子間力顕微鏡

発明者： 渡辺 俊二 ,  藤井 透 ,  服部 徹夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226928
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 煩雑な操作を必要とせず、効率よく光学顕微鏡による低中倍率の像の観察及び原子間力顕微鏡による高倍率の像の観察する。【構成】 原子間力顕微鏡において、原子間力の検出方式を圧電薄膜やピエゾ抵抗にすること等で小型化した原子間力顕微鏡プローブを光学顕微鏡の対物レンズと観察試料の間の位置に、または、対物レンズと該プローブを交換可能な構造にする事により、対物レンズの位置に配置することによって、光学顕微鏡で原子間力顕微鏡の走査位置を確認できる構成とする。

請求項（抜粋）：

観察試料を観察する原子間力顕微鏡と、前記観察試料及び原子間力顕微鏡のプローブの走査状態を観察する光学顕微鏡とからなる複合型顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/00 ,  H01J 37/28 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 11/00 B ,  H01J 37/28 Z ,  G02B 21/00