特許
J-GLOBAL ID：200903023312134760
開閉弁取付構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284061
公開番号（公開出願番号）：特開平7-269732
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 流量制御弁の取り付けに必要なスペースを少なくした開閉弁の取付構造を提供すること。【構成】 開閉弁の取付構造は、下面中央部近傍に気体の供給を受ける弁供給ポートと、弁の開閉により弁供給ポートと連通または遮断される弁出力ポートとを備える出力弁3と、上面に前記開閉弁が取り付けられ、出力弁3が取り付けられた上面が一側面方向に延伸され、延伸された上面に形成された2つのボルト孔を用いて取付ボルト41により出力マニホールド12に固定されると共に、マニホールドポート12bと弁出力ポートとを連通させる連通路とが形成された出力弁ブロック13とを有し、マニホールドポート12bが、2本の取付ボルト41の間に形成されている。
請求項（抜粋）：
開閉弁と連通するマニホールドポートを有するマニホールドプレートに開閉弁を取り付ける開閉弁取付構造において、下面中央部近傍に気体の供給を受ける弁供給ポートと、弁の開閉により弁供給ポートと連通または遮断される弁出力ポートとを備える開閉弁と、上面に前記開閉弁が取り付けられ、前記開閉弁が取り付けられた上面が一側面方向に延伸され、延伸された上面に形成された2つのボルト孔を用いてボルトにより前記マニホールドプレートに固定されると共に、前記マニホールドポートと前記弁供給ポートまたは前記弁出力ポートとを連通させる連通路が形成された取付ブロックとを有し、前記マニホールドポートが、前記2本の取付ボルトの間に形成されていることを特徴とする開閉弁取付構造。
IPC (3件)：
F16K 27/00
, C23F 1/08 101
, H01L 21/3065
