特許

J-GLOBAL ID：200903023312719679

固体撮像素子とその製造方法

発明者： 西 直樹 ,  椎葉 智宏
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221982
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053258
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 感度低下を招くことなく、シャント配線の抵抗を低減して動作のさらなる高速化を実現した、固体撮像素子とその製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 光電変換をなす島状の受光センサ部3と、受光センサ部3で発生した信号電荷を垂直方向に転送するための垂直レジスタ7と、垂直レジスタ7上に駆動パルスを印加するためシャント配線21と、シャント配線21を覆いかつ受光センサ部3上を開口する遮光膜10と、入射する光を受光センサ部3に集光するためのオンチップレンズ12とを備えた固体撮像素子20である。シャント配線21は、その高さが幅と同じかあるいはこれより大きい寸法に形成されている。またこのシャント配線21は、オンチップレンズ12の端縁部12aと遮光膜10の受光センサ部3を開口させる開口部10aの開口端10bとを結ぶ直線を、遮光膜10の肩部10cが遮らないような高さと幅に形成されている。

請求項（抜粋）：

垂直方向および水平方向に2次元配列された光電変換をなす島状の受光センサ部と、これら受光センサ部で発生した信号電荷を垂直方向に転送するための垂直レジスタと、垂直レジスタ上に駆動パルスを印加するためシャント配線と、前記垂直レジスタおよびシャント配線を覆いかつ前記受光センサ部上を開口する遮光膜と、入射する光を前記受光センサ部に集光するためのオンチップレンズとを備えた固体撮像素子において、前記シャント配線は、その高さが幅と同じかあるいはこの幅より大きい寸法に形成されてなり、かつ、前記オンチップレンズの端縁部と前記遮光膜の受光センサ部を開口させる開口部の開口端とを結ぶ直線を、前記シャント配線を覆う遮光膜の肩部が遮らないような高さと幅に該シャント配線が形成されてなることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 B

Fターム (24件)：

4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118DA03 ,  4M118DA40 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118FA50 ,  4M118GB07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA00 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024GA01 ,  5C024GA51 ,  5C024JA21