インダクタンス及び/又はパワー転送及び/又は電圧増倍要素を有する装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-532560
公開番号（公開出願番号）：特表平11-504463
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】基板を照射するための装置は、コンパクトで搬送可能であり、一体化されて高出力で高度に効率的である。該装置は、改良された高電圧インダクタ(1-230)、改良されたパワー伝送装置(230-294)、改良された電圧増倍装置(500-575)、電圧増倍装置のための改良された補助パワー供給手段(600-619)、改良された自己しゃ蔽装置(700)へのアクセス可能性および固体又は液体物質の照射処理の改良された方法を含む。

請求項（抜粋）：

基板を照射する電気装置は以下のものからなる: (i)真空チャンバ、該真空チャンバは第1の端部に位置する透過ウインドを含んでいる; (ii)上記真空チャンバ内の粒子ビーム発生器; (iii)上記真空チャンバ内の粒子ビーム加速器,該加速器は上記発生器からの粒子を上記切換ウインドに向けるとともにこれに通して加速するとともに指向させる; 上記装置は以下の特徴の少くとも1つを有する:(A)上記装置は、インダクタを有し、インダクタは以下のものからなる: (i)高電圧端子対;および (ii)第1のインダクタンスを有する第1のインダクタンス要素および第2のインダクタンスを有する第2のインダクタンス要素、これらインダクタンス要素は互いに接近してかつ実質的に平行に隔置されるとともに、夫々複数の巻線を有する, 上記第2のインダクタンス要素の巻線は、第1のインダクタンス要素の巻線とは時計方向,反時計方向の意味で反対方向に巻回されている,および, 第1と第2のインダクタンス要素の巻線は上記高電圧端子間に電気的に直列に接続されて上記インダクタを形成し、該インダクタは総インダクタンスを有するとともに、上記高電圧端子は互いに空間的に離間するとともに、上記総インダクタンスは上記第1インダクタンス又は第2インダクタンスのいずれか1つより大きくなるように構成されている;(B)上記装置は、以下のものの少くとも1つからなる高電圧ACパワー変換装置: (i)高周波数選択性を有する第1の共鳴回路の部分を形成する第1のコイルと、高周波数選択性を有するとともに所定の共鳴周波数を有する第2の共鳴回路の部分を形成する第2のコイルを有する変圧器, 上記第1と第2のコイル間の結合は臨界結合値か近い値である;又は、 (ii)所定の値の周波数と電圧の矩形波電気信号を発生する位相ロックループ発生器と、上記矩形波電気信号を上記位相ロックループ発生器から受信するとともに矩形波電圧プロフィールを有するパワー信号に変換するため、上記発生器に接続された少くとも1つの電圧利得固体パワードライバ、該ドライバは、電圧器の第1のコイルに接続するとともに駆動するように構成されている;(C)上記装置は以下のものを有する電圧増倍装置からなる: (i)ACパワー源に接続するように適合された第1,第2の金属電極; (ii)接地接続と高電圧DC端子; (iii)各々アノードとカソードを有する複数の固体レクチファイアユニット、上記ユニットは上記電極間に位置して上記接地接続と高電圧DC端子の間のカソードにアノードが直列されている,および (iv)上記レクチファイアユニット間に形成された電気接続の各々に接続されたコンデンサ板; a)各コンデンサ板は上記第1電極又は第2電極の1つから所定の固有の間隔を置いて独立に配置されているとともに、所定の容量を有するコンデンサを上記電極との関係で形成して、少くとも1つのコンデンサを各々独立して有する複数のコンデンサモジュールを形成する, b)上記所定の間隔は連続するコンデンサモジュールについて増大する, c)上記コンデンサ板は上記コンデンサ板と電極の間の容量を介してコンデンサを横切って実質的に等しい振幅のAC電位に容量的に結合するように適合されている,および d)あるコンデンサ板と電極との間の容量は上記複数のコンデンサ板と電極の間の容量の平均値と同様である;(D)上記真空チャンバは上記粒子加速器を上記真空チャンバの第1端に接続するドリフトチューブを有する, 上記ドリフトチューブは上記真空チャンバを真空ポンプ手段に接続する真空接続手段を有し、上記真空接続手段と上記真空チャンバの上記第1端との間において、拡散チャンバは以下のものを有する: (i)粒子ビームが拡散チャンバに入る入口; (ii)上記真空チャンバの第1端に対面するとともに、ドリフトチューブセグメントの入口における縦方向軸に対して180°以下の有限の角度をなす出口;および (iii)粒子ビームが上記出口に指向するように粒子ビームを再指向させるとともに走査する手段、該手段は真空チャンバの第1端に接続するドリフトチューブの拡大されたセグメントを有し、それによって走査された粒子ビームの軌跡の変動に適応する;(E)上記装置は、電圧増倍装置とともに用いるのに適した補助パワー供給手段を備え、電圧増倍装置は以下のものを有する: (i)ACパワー源に接続するのに適した金属電極対, (ii)接地接続と高電圧DC端子, (iii)各々アノードとカソードを有する複数の固体レクチファイアユニット, 上記ユニットは上記電極間に位置するとともに上記接地接続と高電圧DC端子との間でアノードからカソードへと直列に接続されている, (iv)各々上記電極の一方又は他方から離間した複数のコンデンサ板、上記レクチファイアユニット間に形成される電気接続の各々は上記コンデンサ板の1つに接続され、上記電極とコンデンサ板の間に形成される容量を介してコンデンサを横断して実質的に等しい振幅のAC電圧を容量的に結合する, (v)第1と第2の端子を有する1次コイルと補助パワーを与える2つの端子を有する2次コイルとを有する変圧器, (vi)上記補助パワー供給手段は上記コンデンサの1つと上記変圧器の1次コイルの第1端子との間に電気的に直列に接続され、上記1次コイルの第2端子はいま一つのコンデンサ板に電気的に接続されている、可変コンデンサからなる;もしくは(F)上記装置は以下のものからなる: (a)発電機, (b)以下ものを備えるしゃ蔽丸天井: (i)1端が開放された閉塞体,および (ii)上記閉塞体の開放端に取外し可能に固定するドアを備えたドアフレーム構造,および (c)上記しゃ蔽された丸天井の閉塞体に取付けられた基礎案内構造は上記ドアフレーム構造を摺動自在に上記基礎案内構造上に取付ける手段を備え、上記ドアフレーム構造とドアが上記閉塞体に固定されたときに、上記ドアフレーム構造が上記丸天井内で上記真空チャンバを包囲して基板を照射する上記装置のための自己しゃ蔽を与えるように、上記真空チャンバは上記ドアフレーム構造に固定され、上記基礎案内構造に沿って上記閉塞体から離して移動されると、上記真空チャンバのサービスと保守管理ができるようになっている。

IPC (2件)：

H05H 5/02 , G21K 5/04

FI (2件)：

H05H 5/02 A , G21K 5/04 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-030048
特表平6-500394
特開平2-030048

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