特許
J-GLOBAL ID：200903023324563305

平面モータ、ステージ位置決めシステム、露光装置

発明者：
マイケル・ビナード

マイケル・ビナード について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-189658
公開番号（公開出願番号）：特開2002-112526
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：
【要約】【課題】 密集したコイルからなる複雑でないコイル・アレイを持つコンパクトなモータであり、高速及び高精度の6自由度、及び高いエネルギー効率を供給するモータを提供する。【解決手段】 平面電動モータは、交互に極性が入れ替わる磁界を発生するマグネット・アレイと、マグネット・アレイに隣接し、マグネット・アレイとの間に電磁力を発生させるように、磁界と相互作用可能に配置されるコイル・アレイとを備える。コイル・アレイは、第1方向に縦長の多角形に形成された複数のコイルを有する第1のリニア・コイル・アレイと、第1方向にほぼ直交する第2方向に縦長の楕円に形成された複数のコイルを有する第2のリニア・コイル・アレイとを備える。モータは、ステージの移動に用いられ、そのステージは、露光装置において、レチクルのパターンの像を物体に形成するための光学系を支持する。
請求項（抜粋）：
交互に反転した極性による磁界を発生するマグネット・アレイと、前記マグネット・アレイに隣接し、前記マグネット・アレイとの間に電磁力を発生させるように、前記磁界と相互作用可能に配置されるコイル・アレイとを備え、前記コイル・アレイは、第1方向に縦長の多角形に形成された複数のコイルを有する第1のリニア・コイル・アレイと、前記第1方向にほぼ直交する第2方向に縦長の長円に形成された複数のコイルを有する第2のリニア・コイル・アレイとを備える平面モータ。
IPC (2件)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 515 G
Fターム (14件)：
5F046CC01 ,  5F046CC19 ,  5H641BB11 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG06 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH11 ,  5H641JA05 ,  5H641JA07 ,  5H641JB10
引用特許：
審査官引用 (8件)
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