光ディスク用スタンパーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-046549
公開番号（公開出願番号）：特開平10-241214
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】低ノイズレベルの光ディスクを製造することができるスタンパーを作製する。【解決手段】フォトレジスト11が塗布されたガラス原盤10上に光ビーム3を照射してガイド溝パターンあるいは微小な凹凸からなる信号パターンを露光し、露光部分あるいは未露光部分のフォトレジストを溶解除去して所定の溝あるいはピットを形成する。このとき、光ビーム3のスポット径をWe、溝あるいはピットの溝幅をWsとすると、Ws×1.3≦We≦Ws×1.8にする。

請求項（抜粋）：

フォトレジストが塗布されたガラス原盤上に光ビームを照射して所定の溝または信号パターンを露光し、露光部分あるいは未露光部分のフォトレジストを溶解除去して所定の溝あるいはピットを形成する工程において、前記光ビームのスポット径をWe、溝あるいはピットの溝幅をWsとすると、Ws×1.3≦We≦Ws×1.8としたことを特徴とする光ディスク用スタンパーの製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 511 , B29C 33/38

FI (2件)：

G11B 7/26 511 , B29C 33/38

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