特許
J-GLOBAL ID：200903023347212321
プラズマCVD装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-294859
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153682
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】簡単な治具の取付けにより膜厚の均一性を向上させる。【構成】ガラス基板1を保持する領域に窓を有する保持電極2の窓に外周部が接し、かつガラス基板1を保持する内周部を有するリング状の絶縁板10を設ける。
請求項（抜粋）：
RF電源に接続するRF電極と、被成膜用の基板が保持される領域に窓が形成された保持電極とを備えた平行平板型のプラズマCVD装置において、前記窓に外周部が接しかつ前記基板を保持する内周部を有するリング状の絶縁板を着脱自在に取り付けたことを特徴とするプラズマCVD装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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