多重焦点光学系を用いた測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304814
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141914
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】測定状態に合わせた装置の調整を簡単且つ効率良く行うことが可能な測定装置を提供する。【解決手段】測定目的に応じて焦点位置を変更することによって、カンチレバー2にレーザー光を集光させることが可能な多重焦点光学系14と、カンチレバーから反射した反射光を受光することによって、カンチレバーの変位を検出可能な光検出器12とを備える。多重焦点光学系は、半導体レーザ20から出射されたレーザー光を平行光束に規制するコリメータレンズ22と、所定の印加電圧によって分子配列を変更することによって、レーザー光の偏光方向を所定方向に切換可能な液晶素子24と、液晶素子を透過したレーザー光を2つの異なる位置に集光させる複屈折レンズ26とを備える。

請求項（抜粋）：

光源からの光の焦点位置を測定対象物の位置に応じて変更することが可能な多重焦点光学系と、前記測定対象物に照射された光から前記測定対象物の情報を検出可能な光検出器とを備えていることを特徴とする多重焦点光学系を用いた測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01C 3/06

FI (3件)：

G01B 11/00 B , G01B 11/24 Z , G01C 3/06 A

前のページに戻る