特許

J-GLOBAL ID：200903023361155390

光ディスク基板成型用スタンパおよびその製造方法

発明者： 小山 理
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349921
公開番号（公開出願番号）：特開2001-243665
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 従来のドライエッチングを用いた深溝ランドグルーブ基板用スタンパの加工製造方法で発生するランド/グルーブトラック表面や側壁部の荒れ、グルーブ端部の突起や溝深さの不均一性を改善する。【解決手段】 原盤16上にレジスト2を塗布してパターン露光し、残存レジスト2をマスクとしてエッチング法によりガイド溝を形成する過程において、予め互いに材質の異なる複数の薄膜層17、18を原盤16上に順次成膜し、薄膜層17、18を選択的に順次エッチングすることにより、トラック表面や側壁部の荒れを低減した平坦で溝深さの均一性の良好なガイド溝を形成する光ディスク基板成型用スタンパの製造方法。

請求項（抜粋）：

原盤上にフォトレジストを塗布してパターン露光し、現像後の残存フォトレジストをマスクとしてエッチング法によりガイド溝を形成する光ディスク基板成型用スタンパの製造方法において、予め互いに材質の異なる複数の薄膜層を前記原盤上に積層成膜し、前記複数の薄膜層を選択的に順次エッチングすることにより前記ガイド溝を形成することを特徴とする光ディスク基板成型用スタンパの製造方法。

IPC (4件)：

G11B 7/26 511 ,  G11B 7/26 501 ,  B29C 33/38 ,  B29L 17:00

FI (4件)：

G11B 7/26 511 ,  G11B 7/26 501 ,  B29C 33/38 ,  B29L 17:00

Fターム (29件)：

4F202AH79 ,  4F202CA11 ,  4F202CB01 ,  4F202CD12 ,  4F202CD24 ,  4F202CK41 ,  5D121AA02 ,  5D121BA01 ,  5D121BA03 ,  5D121BB05 ,  5D121BB06 ,  5D121BB07 ,  5D121BB14 ,  5D121BB16 ,  5D121BB17 ,  5D121BB22 ,  5D121BB23 ,  5D121BB25 ,  5D121BB33 ,  5D121BB34 ,  5D121CA03 ,  5D121CB03 ,  5D121CB05 ,  5D121EE02 ,  5D121EE03 ,  5D121EE04 ,  5D121GG02 ,  5D121GG04 ,  5D121GG14