特許

J-GLOBAL ID：200903023364975673

感光性ポリシラン誘導体の製造法

発明者： 野部 茂 ,  成田 武憲 ,  山本 靖浩 ,  森嶋 浩之
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-192019
公開番号（公開出願番号）：特開平10-036516
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：

【要約】【課題】 十分な分子量を有し、しかも、感光性を有するポリシラン誘導体の製造法を提供する。【解決手段】 化1〔一般式(I)〕【化1】(ただし、式中、R1及びR2は水素又は炭素数l〜3のアルキル基を示し、これらは同一でも異なっていてもよい)で表されるポリシラザン化合物を脱水素触媒の存在下に320nm以下の紫外線光を遮断した雰囲気下に反応させることを特徴とする感光性ポリシラン誘導体の製造法。

請求項（抜粋）：

化1〔一般式(I)〕【化1】(ただし、式中、R1及びR2は水素又は炭素数l〜3のアルキル基を示し、これらは同一でも異なっていてもよい)で表されるポリシラザン化合物を脱水素触媒の存在下に320nm以下の紫外線光を遮断した雰囲気下に反応させることを特徴とする感光性ポリシラン誘導体の製造法。