特許

J-GLOBAL ID：200903023366072913

光導波路の作製方法

発明者： 武下 清和
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (8件)： 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-259566
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101585
出願日： 2002年09月05日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】フェムト秒レーザ光により透明体中に形成される微細空洞を利用して立体的な光導波路を透明体中に作製する新規な方法。【解決手段】1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、その微細空洞5を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔6を形成し、形成された連通孔6中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板1中に光導波路を形成する。この場合に、隣接する微細空洞5をその半径d/2以下の間隔Lで連続的に形成することにより連通孔6を形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする光導波路の作製方法。

IPC (1件)：

G02B6/13

FI (1件)：

G02B6/12 M

Fターム (7件)：

2H047KA03 ,  2H047PA15 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41