有機電界発光素子の製造方法と製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050804
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251058
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】簡便な、ショートの発生しない有機電界発光素子の製造方法を提供すること。【解決手段】少なくとも、電界発光領域を有する単層または積層の有機薄膜層を2組の電極により狭持してなる電界発光素子の蒸着法を用いる製造方法において、電極の成形時に、蒸着源と蒸着マスクなどの挿入板(または基板)との距離を有機薄膜層(電子輸送層、発光層、正孔輸送層等)成形時より大きくして蒸着面積を小さくする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された、互いに対向する一対の電極(第一電極および第二電極)およびその電極間に挟まれた少なくとも有機電界発光(エレクトロルミネツセンス:以下ELと略記することもある)領域を含む電界発光素子の真空蒸着法を用いた製造方法において、少なくとも一方の電極を形成する際の、蒸着源と少なくともパターンを形成する孔を持つ挿入板との距離(蒸着源一挿入板間距離とする)Llが、第一電極と第二電極間に狭持する少なくとも有機電界発光領域を含む単層または積層の薄膜層の少なくとも一層以上を形成する際の、蒸着源一挿入板間距離L2に対して、Ll>L2となるようにして作製することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , G09F 9/35 365 , H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 , G09F 9/35 365 B , H05B 33/14 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-233891
特公昭41-001209
特公昭40-009223

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