特許
J-GLOBAL ID：200903023372317995
ケース
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224449
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053136
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等を製品として、これを保管、搬送する際に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)を提供する。【解決手段】 フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース(ボックス)であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部(インジエクター)を備えており、密封した後に、充填部(インジエクター)にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部(インジエクター)にて充填される不活性なガスを、ケース(ボックス)内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けている。
請求項（抜粋）：
フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることを特徴とするケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
3E096AA01
, 3E096BA15
, 3E096BA16
, 3E096CA02
, 3E096DA01
, 3E096DA03
, 3E096DA17
, 3E096DA25
, 3E096DA30
, 3E096DC02
, 3E096FA03
, 3E096FA15
, 3E096FA22
, 3E096GA05
, 3E096GA09
, 3E096GA11
, 3E096GA13
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031DA12
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031EA16
, 5F031EA19
, 5F031JA49
, 5F031NA04
