ケース

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224449
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053136
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等を製品として、これを保管、搬送する際に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)を提供する。【解決手段】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース(ボックス)であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部(インジエクター)を備えており、密封した後に、充填部(インジエクター)にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部(インジエクター)にて充填される不活性なガスを、ケース(ボックス)内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けている。

請求項（抜粋）：

フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることを特徴とするケース。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (27件)：

3E096AA01 , 3E096BA15 , 3E096BA16 , 3E096CA02 , 3E096DA01 , 3E096DA03 , 3E096DA17 , 3E096DA25 , 3E096DA30 , 3E096DC02 , 3E096FA03 , 3E096FA15 , 3E096FA22 , 3E096GA05 , 3E096GA09 , 3E096GA11 , 3E096GA13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA12 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA16 , 5F031EA19 , 5F031JA49 , 5F031NA04

引用特許：

審査官引用 (1件)

密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-145922 出願人：ソニー株式会社

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