特許
J-GLOBAL ID：200903023379301377
導波路型受光素子及びその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063216
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】効率の良い導波光カップリングを実現し得る構造の導波路型受光素子を提供する。【構成】基板30に形成された受光部40と、該基板上に形成された絶縁層20と、該絶縁層20を含む基板上に形成された導波路層10とを少なくとも有する導波路型受光素子であって、上記絶縁層20の厚みを受光部40周辺で漸減させ、受光部上で薄くあるいは零となった所謂テーパー形状断面のカップリング部を有する導波路型受光素子において、上記テーパーの上部51がその下部52より緩いテーパー形状となっていることを特徴とする。【効果】導波路型受光素子のカップリング部を形成するテーパー形状断面の上端部をその下部より緩やかなテーパー形状とすることで、導波光の散乱の少ないカップリング構造を比較的短いカップリング部で形成することができる。
請求項（抜粋）：
基板に形成された受光部と、該基板上に形成された絶縁層と、該絶縁層を含む基板上に形成された導波路層とを少なくとも有する導波路型受光素子であって、上記絶縁層の厚みを受光部周辺で漸減させ、受光部上で薄くあるいは零となった所謂テーパー形状断面を有する導波路型受光素子において、上記テーパーの上部がその下部より緩いテーパー形状となっていることを特徴とする導波路型受光素子。
IPC (3件)：
H01L 31/0232
, C23F 1/02
, H01L 21/306
