特許

J-GLOBAL ID：200903023379746263

圧電素子駆動流体制御弁

発明者： 苗村 一雄
出願人/特許権者： 株式会社ユニシアジェックス
代理人 (1件)： 平田 義則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265796
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117561
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【目的】 温度変化による弁体の変動を防止し、圧力伝達用流体へのエアの混入による弁体の変位量低減を抑制すること。【構成】 流体導入口1aと流体排出口1bとの間に設けられた弁口2bのシート面2aに対し、スプリング3aにより流体導入口1a側から当接して閉弁する方向に付勢された弁体3と、その摺動によりスプリング3aの付勢力に抗して弁体3を開放する小径ピストン6と、小径ピストン6との間に圧力伝達用流体を充填した圧縮室7を形成して摺動自在に設けられた大径ピストン5と、大径ピストン5を押圧摺動させる圧電素子10と、圧縮室7と流体導入口1aが設けられた一次側弁室1cとの間を一次側弁室1cから圧縮室7方向への流通のみを許容するチェック弁14を介して連通するチェック流路Aと、チェック弁14をバイパスし、一次側弁室1cと圧縮室7との間をオリフィス15を介して連通するバイパス流路Bとを備える。

請求項（抜粋）：

流体導入口と流体排出口との間に設けられた弁口のシート面に対し、付勢部材により流体導入口側から当接して閉弁する方向に付勢された弁体と、その摺動により付勢部材の付勢力に抗して弁体を開放する小径ピストンと、該小径ピストンとの間に圧力伝達用流体を充填した圧縮室を形成して摺動自在に設けられた大径ピストンと、該大径ピストンを押圧摺動させる圧電素子と、前記圧縮室と流体導入口が設けられた一次側弁室との間を一次側弁室から圧縮室方向への流通のみを許容するチェック弁を介して連通するチェック流路と、前記チェック弁をバイパスし、一次側弁室と圧縮室との間をオリフィスを介して連通するバイパス流路と、を備えたことを特徴とする圧電素子駆動流体制御弁。