特許

J-GLOBAL ID：200903023380048804

残留容量を考慮した負荷容量特性測定方法

発明者： 崎山 伸 ,  長谷川 亨 ,  大澤 克朗
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273086
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104017
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 水晶振動子の特性検査装置において、負荷容量特性測定を行う際に、残留容量による誤差を補正し、より高精度な測定をおこなう。【構成】 残留容量13を含む、DUT部11と、負荷容量部12を4端子表示し、共振時の入出力電圧の比αについて、(a)DUT部をショートし、負荷容量部をショートした場合の(αs) を実測する。(b)DUT部に、一定の既知量をロードし、負荷容量部をショートした場合の(αL) を実測する。(c)DUT部をショートし、負荷容量部に一定の既知量をロードした場合の(αs’)を実測する。そして、(d)DUT部をオープンし、Z0 として演算する。(e)DUT部をショートし、Zs として演算する。(f)DUT部に一定の既知量をロードし、ZL として演算する。上記の実測値と、演算式との間の解を求めることにより、残留容量13を定める。また、補正後の真の共振周波数を求める。

請求項（抜粋）：

水晶振動子の負荷容量特性測定において、残留容量(13)を含む、DUT部(11)と、負荷容量部(12)を4端子表示し、共振時の出力電圧と入力電圧との比α(α=V/v)について(a)DUT部をショートし、負荷容量部をショートした場合のα値(αs) を実測し、(b)DUT部に、一定の既知量をロードし、負荷容量部をショートした場合のα値(αL)を実測し、(c)DUT部をショートし、負荷容量部に一定の既知量をロードした場合のα値(αs’)を実測し、(d)DUT部をオープンしたときの、インピーダンスをZ0として演算し、(e)DUT部をショートしたときの、インピーダンスをZsとして演算し、(f)DUT部に一定の既知量をロードしたときの、インピーダンスをZL として演算し、上記の実測値と、演算式との間の解を求めることにより、残留容量(13)を定めることを特徴とした、残留容量を考慮した負荷容量特性測定方法

IPC (4件)：

G01R 27/28 ,  G01R 27/26 ,  G01R 29/22 ,  G01R 31/00