特許
J-GLOBAL ID：200903023383187783
フォトリソ工程における現像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188796
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005507
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 基板上に形成したフォトレジストを露光させて得たワークを現像する場合、現像処理中に現像液ミストが待機中のワークのレジスト表面に付着し、これにより生じるワークの不良発生をなくすものである。【構成】 待機室1と現像処理室5とを、シャッター6を有する隔壁を介して隣接させると共に、各室1,5内には夫々各室内に静置されたワークa,a'に吹き付ける為の純水用ノズル4,4...と、現像液用ノズル7とを夫々設けてなる。
請求項（抜粋）：
ワークの待機室と、該待機室から送り込まれるワークの現像処理室等からなる現像装置において、前記待機室内にワーク上に設けた露光済フォトレジスト表面に純水を吹き付ける吐出ノズルを設けたことを特徴とするフォトリソ工程における現像装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/30 501
