特許

J-GLOBAL ID：200903023387856400

めっき膜の析出不良及び接着力低下防止法

発明者： 高橋 知顕 ,  赤星 晴夫 ,  川本 峰雄 ,  高橋 昭雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022736
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】溶剤現像型のめっきレジストを用いたフルアディティブ法プリント配線板に於いて、めっき膜がふくれや波打ちを起こしたり、接着力が低下する問題を防止し、微細回路を安定して形成する。【構成】基板表面に形成した接着剤を粗化し、めっき触媒を付与した後、感光性めっきレジストを形成し、露光,現像,水洗した後、接着剤層へ浸透した現像液を乾燥し、その後無電解めっきで回路を形成する。

請求項（抜粋）：

基板表面に形成した接着剤を粗化し、めっき触媒を付与した後、感光性めっきレジストを形成し、露光,現像,水洗した後、無電解めっきで回路を形成する方法に於いて、めっきレジストの露光,現像後に行う水洗工程の後に、接着剤層へ浸透した現像液を乾燥する工程を導入したことを特徴とするめっき膜の析出不良及び接着力低下防止法。