特許
J-GLOBAL ID:200903023388069495
紫外線照射装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-224631
公開番号(公開出願番号):特開平10-055713
出願日: 1996年08月08日
公開日(公表日): 1998年02月24日
要約:
【要約】【課題】 放電ランプを取りつけた後、当該放電ランプの位置調整が不要な紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 ショートアーク型の放電ランプ(10)と、中央部に開口を有する楕円集光鏡(21)と、楕円集光鏡(21)を保持する楕円集光鏡保持部材(20)とを備えた紫外線照射装置に、放電ランプ(10)の一方の口金(13)はフランジ部(15)を有し、楕円集光鏡保持部材(20)の底部には口金(13)が嵌合する嵌合孔(22)が設けてあり、また、楕円集光鏡保持部材(20)には、嵌合孔(22)に嵌合した口金(13)に離脱可能に係合し、口金(13)のフランジ部(15)を楕円集光鏡保持部材(20)側に付勢するバネ(30)を設ける。
請求項(抜粋):
ショートアーク型の放電ランプと、中央部に開口を有する楕円集光鏡と、該楕円集光鏡を保持する楕円集光鏡保持部材とを備えた紫外線照射装置において、上記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、上記楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する嵌合孔が形成され、一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上記嵌合孔に嵌合した上記口金に離脱可能に係合し、該口金のフランジ部を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する付勢部材を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (3件):
F21V 17/00 360
, H01L 21/26
, H01L 21/027
FI (3件):
F21V 17/00 360 E
, H01L 21/26 L
, H01L 21/30 527
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