特許
J-GLOBAL ID：200903023391034872

温度測定板

発明者：
栗原 努

栗原 努 について


出願人/特許権者：
日本フエンオール株式会社

日本フエンオール株式会社 について


代理人 (1件)： 工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083675
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272280
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 周辺部材による影響を抑えてより正確な温度測定を可能にする。【解決手段】 熱処理が施される半導体ウエハ等の熱履歴を擬似的に測定する温度測定板1である。半導体ウエハと同じ材質の平板状の測定板部2と、測定板部2に取り付けられた測温部3と、測温部3から延びるリード線4とからなる。測定板部2を2枚の平板部2A,2Bから構成し、各平板部2A,2Bを半導体ウエハの半分の厚さに成形して、2枚重ねることで半導体ウエハと同一寸法にする。各平板部2A,2Bの内側面には窪み部5とリード線収納溝6を設けた。窪み部5に測温部3が、リード線収納溝6にリード線4がそれぞれ収納されて、各平板部2A,2Bが合わされる。これにより、リード線4は、測定板部2の周縁部から外周に向けて配設され、このリード線4による影響を解消する。
請求項（抜粋）：
熱処理が施される平板状部材の熱履歴を擬似的に測定するための温度測定板において、上記平板状部材と同じ材質の平板状の測定板部と、この測定板部に取り付けられた測温部と、この測温部から延びるリード線とを備え、上記測定板部が2枚の平板部からなり、各平板部の内側面の一方又は両方に上記測温部を収納する窪み部が設けられたことを特徴とする温度測定板。
IPC (3件)：
G01K 1/14 ,  G01K 7/02 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01K 1/14 A ,  G01K 1/14 L ,  G01K 7/02 S ,  H01L 21/66 T
Fターム (12件)：
2F056CA05 ,  2F056CA15 ,  2F056CL00 ,  2F056KA12 ,  2F056WA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA70 ,  4M106DD04 ,  4M106DH02 ,  4M106DH15 ,  4M106DJ32
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 温度測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-041522   出願人：日本フエンオール株式会社
  • 特表平2-503352
  • 特開昭61-296229
審査官引用 (3件)
  • 温度測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-041522   出願人：日本フエンオール株式会社
  • 特表平2-503352
  • 特開昭61-296229

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