特許

J-GLOBAL ID：200903023400887891

除振装置及び露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068265
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270308
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 除振装置に作用する定常的な外乱による除振装置のアクチュエータからの発熱を防止する。【解決手段】 露光本体部40の振動を抑制するための除振制御系11は、露光本体部40に取り付けた変位センサ10および振動センサ5の出力に基づいてアクチュエータ7A〜7Dおよび32A〜32Cを駆動制御し、除振台の振動を抑制する。このとき、露光本体部40に作用する、ケーブルの張力などによる定常的な外乱により生ずる変位に対して、高い除振能力を要するときには通常のフィードバック制御による除振制御を行う一方、さほど高い除振能力を必要としないときには、補正ブロック1000a〜1000fにより、所定範囲内の変位信号を除振制御ループにフィードバックしないようにする。これにより定常的な外乱は除去されてアクチュエータ7A〜7Dおよび32A〜32Cの定常推力は発生せず、発熱が防止できる。

請求項（抜粋）：

パッドを介して保持された除振台と、前記除振台を駆動するアクチュエータと、前記除振台の変位を検出する変位センサと、前記除振台の振動を検出する振動センサと、前記変位センサの出力に基づく位置制御ループと、前記振動センサの出力に基づく速度制御ループとで前記除振台の変位および振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する振動制御系とを具備し、前記変位センサの出力に対して有効あるいは無効に選択可能な所定幅の不感帯を前記位置制御ループに設けたことを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  F16F 15/04

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F ,  G03F 7/20 521 ,  F16F 15/04 F