スライシング用スラリーの評価方法及びスラリー

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118699
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310590
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【目的】ワイヤソーによるスライシングに用いられるスラリーを簡単且つ確実に評価する方法を提供する。【構成】切断されるインゴットの断面形状をした2枚の透明ガラス板を切断に用いられるワイヤ径の1.1〜1.5倍の間隙を形成するように垂直に配置し、形成された間隙の中にワイヤを走行させる。評価されるスラリーをワイヤに供給し、間隙内への侵入距離を測定してスラリーの評価値とする。この評価で、インゴットの直径の1/2以上の侵入距離をもつスラリーは、スライシング時にワイヤ溝の奥まで充分供給される。【効果】この評価によってスライシング中ワイヤ溝に入りやすく且つ切断効率の高いスラリーが使用できるため、インゴット等が効率よくスライシングされる。スライシング時にウェーハの表面粗さやソリが少ない良好なウェーハが得られる。

請求項（抜粋）：

切断されるインゴット断面と同一形状の2枚の透明ガラス板を所定の間隙幅をもって垂直に保持し、前記間隙にスラリーを供給しながらワイヤを走行させることを特徴とするスライシング用スラリーの評価方法。

IPC (4件)：

G01N 19/00 , B24B 27/06 , B24B 57/02 , B28D 5/04

FI (4件)：

G01N 19/00 A , B24B 27/06 D , B24B 57/02 , B28D 5/04 C

Fターム (21件)：

3C047FF06 , 3C047FF09 , 3C047FF11 , 3C047GG15 , 3C047GG20 , 3C058AA05 , 3C058AA07 , 3C058BA09 , 3C058CA01 , 3C058CA05 , 3C058CB10 , 3C058DA02 , 3C058DA03 , 3C069AA01 , 3C069BA06 , 3C069BB03 , 3C069BB04 , 3C069CA04 , 3C069DA06 , 3C069EA01 , 3C069EA02

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