特許
J-GLOBAL ID：200903023411038470
熱処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-290583
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130184
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 複数のヒータ線を具備した熱処理装置において熱処理中のヒータ線の断線を直ちに発見する。【構成】 熱処理すべき試料8を搭載する試料台7と、この試料台7を加熱するための複数本のヒータ線3を備えた熱処理装置において、加熱時に各ヒータ線3の通電状態を常時検出するための電流検出手段16を各ヒータ線ごとに設け、各電流検出手段による検出状態を表示する表示パネル17を設けた。
請求項（抜粋）：
熱処理すべき試料を搭載する試料台と、この試料台を加熱するための複数本のヒータ線を備えた熱処理装置において、加熱時に各ヒータ線の通電状態を常時検出するための電流検出手段を各ヒータ線ごとに設け、各電流検出手段による検出状態を表示する表示パネルを設けたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01L 21/324
