特許

J-GLOBAL ID：200903023413403567

電子ビーム検査装置

発明者： 中川 清一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052168
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252330
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 高い検出感度を維持しつつ、従来装置に比べてスループットを大幅に向上させることができる電子ビーム検査装置を実現する。【解決手段】 高速の静電偏向器である補助偏向器21によって、10〜20kVに加速された2次電子を100MHz以上の応答速度で、一次電子ビーム1の2次元走査に同期して偏向する。この2次電子の偏向により、一次電子ビームの走査位置に対応して検出器20a〜20nのいずれかの検出器を選択する。ここで、検出器20a〜20nの数を512個とし、一次電子ビーム1のウエハ試料3上の1走査ライン分の信号が512ポイントであると、512ポイントの2次電子信号がそれぞれ512個の2次電子検出器20a〜20nによって別個に検出される。このことは、一次電子ビーム1の走査速度を512倍高めることが可能であることを意味し、検査のスループットは512倍改善できることになる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料上に細く集束するための集束手段と、試料上で電子ビームを2次元的に走査する走査手段と、試料から放出された2次電子を検出するための複数の検出器とを備え、電子ビームの2次元走査に同期して複数の検出器に向かう2次電子を偏向し、電子ビームの試料上の照射位置に応じて2次電子を検出する検出器を選択するようにした電子ビーム検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

H01L 21/66 C ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 B

Fターム (13件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  5C033FF03 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP06 ,  5C033UU04