特許

J-GLOBAL ID：200903023413556762

化学線感応性重合体組成物

発明者： 吉村 利夫 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083254
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295063
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体と下記一般式[2]で表される光アミン発生剤とを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物に関する。【化1】【効果】本発明によると、有機溶媒を用いず、アルカリ水溶液などで現像できる新規な感光性ポリイミド組成物を得ることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式[1]で表される構造単位を有するポリマーと、下記一般式[2]で表される光アミン発生剤とを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【化1】(R1 は、2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)【化2】(R4 、R6 は、炭素数1〜20の有機基を表す。R5 は、炭素数1以上の1〜4価の有機基を表す。mは1〜4の整数である。)

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46