特許
J-GLOBAL ID:200903023417012252

走査型光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-040393
公開番号(公開出願番号):特開平11-237557
出願日: 1998年02月23日
公開日(公表日): 1999年08月31日
要約:
【要約】【課題】本発明は、共焦点画像および非共焦点画像を共通の光検出器で検出でき、構成が簡単で安価な走査型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】試料11からの光をビームスプリッタ31により共焦点光路301と非共焦点光路302に2分割し、これら2分割された共焦点光路301と非共焦点光路302の一方をシャッタ34のシャッタ本体342により遮断し、他方の光路の検出ビームのみを単一の光検出器32に導入する。
請求項(抜粋):
試料に対し点光源を移動走査しながら照射し、該試料からの光を検出することにより画像化情報を得るようにした走査型光学顕微鏡において、前記試料からの光を共焦点効果および非共焦点効果の少なくとも一つを有する複数の光路に分割する光路分割手段と、この光路分割手段により分割された光路を通る前記試料からの光を検出する単一の光検出手段と、前記複数の光路の少なくとも一つを選択的に前記単一の光検出手段に導入する光路選択手段とを具備したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/06 ,  G02B 21/00
FI (2件):
G02B 21/06 ,  G02B 21/00

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