特許

J-GLOBAL ID：200903023423701019

AC型プラズマディスプレイパネルの電極形成方法

発明者： 段谷 恭史 ,  門脇 広幸 ,  羽鳥 桜子 ,  来間 泰則 ,  福田 政典
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180230
公開番号（公開出願番号）：特開平9-035628
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 層構成等を変えることなく、安定した複合電極を簡便に形成する。【解決手段】 前面板1上に複合電極を形成するに際して、前面板1上にITO膜を形成した後で当該前面板をアニール処理し、次いでITO膜上にCrの第1層膜、Cuの第2層膜、Crの第3層膜からなる金属積層膜を形成し、東海金属積層膜の各膜をそれぞれエッチングによりパターニングしてCrの第1層電極5a、Cuの第2層電極5b、Crの第3層電極5cの三層構造からなるバス電極5を形成してから、ITO膜をエッチングによりパターニングして維持電極4を形成する。アニール処理時の熱でITOが変質してエッチング速度が抑制され、バス電極4のパターニング時にITO膜がエッチングされない。ITOの維持電極4とCr/Cu/Crのバス電極5の組合せを変えることなく、安定した複合電極を形成できる。

請求項（抜粋）：

前面板上に維持電極とバス電極とからなる複合電極を備えたAC型プラズマディスプレイパネルにおける前記複合電極の形成方法であって、前面板上にITO膜を形成した後で当該前面板をアニール処理し、次いでITO膜上にCrの第1層膜、Cuの第2層膜、Crの第3層膜からなる金属積層膜を形成し、当該金属積層膜の各膜をそれぞれエッチングによりパターニングしてCrの第1層電極、Cuの第2層電極、Crの第3層電極の三層構造からなるバス電極を形成してから、ITO膜をエッチングによりパターニングして維持電極を形成するようにしたことを特徴とするAC型プラズマディスプレイパネルの電極形成方法。